Fotolitografiya
Manba: ÖzME, 9-jild (2000–2005), «Özbekiston milliy ensiklopediyasi» Davlat ilmiy naşriyoti · elektron nusxa: ziyouz.com kutubxonasi, 242–243-b. — ziyouz.com
Fotolitografiya (foto... va litografiya) — 1) toşbosma qolipi tayyorlaşning fotomexanik usuli; bunda tasvir negativnaya sirtiga yoruğlik sezgir qatlami qoplangan toş (metall) ga köçiriladi. Nusxa oçiltirilgandan söng unga kimyoviy işlov beriladi, natijada sirt bosma va probel (oraliq) elementlarga bölinadi. Hoz. vaqtda F. kamdankam işlatiladi; 2) fotorezist (yoruğ sezgir polimer qatlam) lardagi maxsus fotografik jarayon. F.dan matssad fotorezist qatlamida berilgan konfiguratsiya (şakl)dagi «teşik» hosil qilib, şu teşik orqali oksidlangan pardali yarimötkazgiçli plastinaga xuruşlaş moddasi keltirişdir (q. Xuruşlaş). Bunday «teşik»lar fotorezistni ultrabinafşa nurlaniş oqimida yoki elektronlar oqimida ma'lum vaqt qoldirib hosil qilinadi. Natijada xuruşlaş moddasi eriş xususiyatini yöqotadi (negativ fotorezist) yoki eriş xususiyatiga ega bölib krladi (pozitiv fotorezist). Bu usul rangli televizorlarning niqoblarida tartibli joylaşgan yuz mingdan ortiq mayda teşik hosil qilişda qullaniladi; 3) F. usuli b-n tayyorlangan litografik bosma qolipdan olinadigan nusxa (q. Litografiya).
Q.: Litografiya, Xuruşlaş
Asl matn (kirill, PDF'dagidek)
ФОТОЛИТОГРАФИЯ (фото... ва литография) — 1) тошбосма қолипи тайёрлашнинг фотомеханик усули; бунда тасвир негативная сиртига ёруғлик сезгир қатлами қопланган тош (металл) га кўчирилади. Нусха очилтирилгандан сўнг унга кимёвий ишлов берилади, натижада сирт босма ва пробель (оралиқ) элементларга бўлинади. Ҳоз. вақтда Ф. камданкам ишлатилади; 2) фоторезист (ёруғ сезгир полимер қатлам) лардаги махсус фотографик жараён. Ф.дан мацсад фоторезист қатламида берилган конфигурация (шакл)даги «тешик» ҳосил қилиб, шу тешик орқали оксидланган пардали яримўтказгичли пластинага хурушлаш моддаси келтиришдир (қ. Хурушлаш). Бундай «тешик»лар фоторезистни ультрабинафша нурланиш оқимида ёки электронлар оқимида маълум вақт қолдириб ҳосил қилинади. Натижада хурушлаш моддаси эриш хусусиятини йўқотади (негатив фоторезист) ёки эриш хусусиятига эга бўлиб крлади (позитив фоторезист). Бу усул рангли телевизорларнинг ниқобларида тартибли жойлашган юз мингдан ортиқ майда тешик ҳосил қилишда қулланилади; 3) Ф. усули б-н тайёрланган литографик босма қолипдан олинадиган нусха (қ. Литография).
Matn ÖzME'dan o'zgartirişsiz olingan, faqat yozuvi yangi alifboga o'girilgan. Qisqartmalar asl holida. Xato ko'rsangiz — xabar bering.